Отправить статью по E-mail О допированных железом алмазоподобных пленках, полученных в разряде с полым катодом
- Авторы: Сорокин И.А.1,2, Колодко Д.В.1,2
-
Учреждения:
- Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
- Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
- Выпуск: Том 69, № 10 (2024)
- Страницы: 996-999
- Раздел: НАНОЭЛЕКТРОНИКА
- URL: https://edgccjournal.org/0033-8494/article/view/684752
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849424100099
- EDN: https://elibrary.ru/HPSZRU
- ID: 684752
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Только для подписчиков
Аннотация
Представлены результаты измерения вольт-амперных характеристик допированных железом алмазоподобных пленок, полученных комбинированным методом физического распыления железного катода и плазмохимического осаждения в разряде с полым катодом. Показан нелинейный характер поперечной проводимости пленки, а также отмечено значительное влияние амплитудного значения напряжения развертки на амплитудное значение тока и форму вольт-амперной характеристики.
Об авторах
И. А. Сорокин
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Автор, ответственный за переписку.
Email: iasorokin@mail.ru
Россия, пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190; Каширское шос., 31, Москва, 115409
Д. В. Колодко
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Email: iasorokin@mail.ru
Россия, пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190; Каширское шос., 31, Москва, 115409
Список литературы
- Сорокин И.А., Колодко Д.В., Краснобаев К.И. // РЭ. 2020. Т.65. №3. С.288.
- Sorokin I.A., Kolodko D.V. // Vacuum. 2023. V. 207. Article No. 111570.
- Vedeneev A. S., Luzanov V. A., Rylkov V. V. // Semiconductors. 2019. V. 53. № 14. P. 1970.
- Николаев С.Н., Веденеев А.С., Лузанов В.А. и др. // РЭ. 2021. Т. 66. № 10. С. 1024.
Дополнительные файлы
