| Выпуск | 
	Раздел | 
        Название | 
	Файл | 
											
				| Том 53, № 1 (2024) | 
		ТЕХНОЛОГИИ | 
		Материалы для межсоединений интегральных схем с проектными нормами менее 5 нм | 
		
					 | 
		
												
				| Том 52, № 5 (2023) | 
		ПРИБОРЫ | 
		Нейроморфные системы: приборы, архитектура и алгоритмы | 
		
					 | 
		
												
				| Том 52, № 2 (2023) | 
		ЛИТОГРАФИЯ | 
		Сечения процессов рассеяния при электронно-лучевой литографии | 
		
					 | 
		
												
				| Том 52, № 2 (2023) | 
		ПРИБОРЫ | 
		Оксидные мемристоры для ReRAM: подходы, характеристики, структуры | 
		
					 | 
		
												
				| Том 54, № 1 (2025) | 
		МОДЕЛИРОВАНИЕ | 
		Расчет распределений энергии электронного пучка, поглощенной в ПММА и Si, с использованием различных моделей рассеяния | 
		
					 | 
		
												
				| Том 54, № 2 (2025) | 
		НАНОСТРУКТУРЫ | 
		Электрические характеристики рутениевых дорожек с площадью поперечного сечения менее 1000 нм2 | 
		
					 | 
		
												
				| Том 54, № 2 (2025) | 
		ПРИБОРЫ | 
		Сегнетоэлектрические транзисторы: принципы работы, материалы, приложения | 
		
					 | 
		
												
				| Том 54, № 3 (2025) | 
		ДИАГНОСТИКА | 
		Структура тонких пленок нитрида титана, сформированных методом магнетронного распыления | 
		
					 |