Автор туралы ақпарат
Кузьменко, В. О.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 53, № 1 (2024) | ТЕХНОЛОГИИ | Parameters and Composition of Plasma in a Mixture of CF4 + H2 + Ar: Effect of the CF4/H2 Ratio | |
| Том 53, № 6 (2024) | ДИАГНОСТИКА | Gas Phase Composition and Fluorine Atom Kinetics in SF6 Plasma |